有些空气净化系统的空气，如经处理仍不能避免交叉污染时，则不能循环使用：固体物料的粉碎、称重、配料、混合、制料、压片、包衣、灌装等工序；用有机溶媒精制的精制、干燥工序；性---生产区；病原体操作区；工艺过程中产生大量---、挥发性气体的生产工序；固体---制剂的颗料●
节能原则：无尘车间里存在大量可以节约能源的地方，例如暖气、通风和空调（hvac）、工艺冷却、压缩空气以及一些其他的设施。 hvac系统消耗的电力超过了整座晶片制造厂用电量的一半。之所以造成大量浪费电力及hvac的容量过剩，很大程度上是因为在设计和建造工厂时走捷径，尽可能地压缩前期投入，而不顾后期运行费用。率的设计和率设备需要很大的前期投入。那种“小处节约大处浪费”的所谓捷径和削减成本，会造成工厂的运行性能降低和能耗增加。 对已建成工厂的改建通常会陷入到---意义的经济漩涡当中[
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乱流洁净室是靠多次换气来实现洁净与洁净级别。
换气次数决定定义中的净化级别（换气次数越多，净化级别越高）⑴自净时间：是指洁净室按设计换气次数开始送风到洁净室，室内含尘浓度达到所设计的净化级别的时间。1，000级希望不超过20min（分钟） （可取15min计算） 10，万级洁净间，000级希望不超过30min（分钟） （可取25min计算） 100，000级希望不超过40min（分钟） （可取30min计算）
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影响洁净室的气流因素很多，如制程设备、人员、洁净室组装材、照明器具等，同时对于生产设备上方气流的分流点，亦应列入考虑因素。一般操作台或生产设备等表面的气流分流点，半导体厂洁净间，应设于洁净室空间与隔墙板间距2/3之处，如此可使作业人员工作时，洁净间工程，气流可从制程区内部流向作业区，天津洁净间，而将微尘带走；若分流点配置在制程区前方，将成为不当的气流分流，此时大部份的气流将流至制程区之后，作业员操作所引起的尘埃将被带到设备后面，工作台因而将受到污染，良率也势必降低。
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